为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年03月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 原子层沉积设备 | YX20230201 | 项目经费来源于集成攻关大平台国家级平台能力提升项目(2022年贴息贷款项目) ，总体目标是主要用于制备半导体纳米器件的绝缘介质和导电材料，以及制备用于生长纳米材料的各类薄膜。 主要沉积薄膜材料：用于半导体器件绝缘介质的Al2O3、HfO2,ZrO2、La2O3、HfZrO等；导电薄膜包括TiN等。 | 600 | 2023年03月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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