为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 8英寸深紫外分布式曝光机 | YX20231005 | 该设备具有基于主流操作系统的图形化控制软件、稳定可靠的三轴式晶圆契形误差补偿系统等，具备手动对准模式，晶圆对准采用全电动对准台等。主要技术参数包括但不限于：分辨率优于0.8um；365nm下光强为32mw/cm2，405nm下光强为 88mw/cm2；光强均匀度优于±2.5％，其中，在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点；配置消衍射及微镜式光学系统等。 | 500 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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