为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 8英寸半自动探针台 | YX20231007 | 拟采购三套8英寸半自动探针台，该设备由半自动探针台、高精度探针座、高精度三轴探针臂、超细低漏电探针等组件组成。该设备可用于超低漏电IV测试、高精度CV测试和射频特性表征等，主要技术参数包括但不限于：最大耐受电压≥500V，超低漏电（低于±50fA），寄生电容低于95fF，高温长时间测试下探针漂移低于1um等。 | 480 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 2 | 分子层沉积 | YX20231008 | 拟采购两套分子层沉积设备，该设备由分子层沉积设备主机、反应腔、液态源管路系统、加热源管路系统、工艺真空泵等组件组成。其中第一套设备用于沉积氧化物High-K薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm High-K薄膜材料的不均匀性低于1%。第二套设备用于高温沉积导电薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm 导电薄膜材料的不均匀性低于4%。 | 400 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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