为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 互连刻蚀机1 | YX20231057 | 拟采购一款单chamber、半自动的刻蚀系统，用于对腔室内等离子体密度的均匀控制。该设备主要包括工艺系统、射频系统、气路系统、真空系统和软件系统，配套件包括多款型号密封圈。主要参数包括但不限于：工艺系统的控压精度低于±0.2mTorr，射频系统的的射频匹配速度低于5s,气体系统流量可调，真空泵速度可达到1300L/s等。 | 290 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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