为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,现将复旦大学2023年12月政府采购意向公开政府采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
1 | 带气氛热退火系统1 | YX20231101 | 带气氛热退火系统是在保护气氛下的快速退火系统,通过高温钨加热,在不锈钢水冷腔室加热单片 Wafer或样品,工艺时间短,控温精度高,相对于传统扩散炉退火系统和其他RTP系统其温度更高。主要应用于氧化物、氮化物生长、硅化物合金退火、砷化镓工艺以及其他快速热处理工艺。该设备能够实时监控、记录设备运行时的所有工艺参数,人机界面观察清晰、准确, 易操作、维修方便。 | 130 | 2023年12月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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