| 扫描电子显微镜 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=6cc56afc-2fc3-48d6-8f38-b16968cfb75b |
| 采购单位： | 芯片与系统前沿技术研究院（筹） |
| 采购项目名称： | 扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 600万元 |
| 采购品目： | A02100301 显微镜 |
| 采购需求概况： | 扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相五作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。本项目需求的扫描电子显微镜主要功能必须包含：实现对半导体样品，材料样品及不导电聚合物等各种样品进行超高分辨形貌表征，对于不导电样品可以实现不喷金低电压高分辨成像，低电压二次电子分辨率≤0.8nm@1kV，同时设备必须具备元素成份的点扫描和面扫描分析功能，所配备能谱窗口面积不小于100mm2。配备主动式减震台和主动式消磁器以满足高分辨拍摄场地要求。 |
| 预计采购时间： | 2024年10月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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