| 低温等离子体介质沉积系统 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=5dbe38f0-2bd2-42a2-853e-c09e8fa922f8 |
| 采购单位： | 微电子学院 |
| 采购项目名称： | 低温等离子体介质沉积系统 |
| 预算金额： | 480万元 |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 生长速度≥8 nm/min，生长温度≤100℃，生长薄膜应力≤300 Mpa，薄膜均匀度（薄膜差异±5%），标配8路：SiH4、NH3、N2O、N2、O2、CF4、Ar、He流量可调，真空计（100mTorr），分子泵抽速≥1300L/s，抽真空 30 分钟以内，压力达到< 1E-5 mbar，本底真空：< 1E-6 mbar。 |
| 预计采购时间： | 2024年10月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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