| 纤维半导体器件微纳加工系统 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=e013b2f2-232c-43cc-a57b-d07a6ea8d6f7 |
| 采购单位： | 高分子科学系 |
| 采购项目名称： | 纤维半导体器件微纳加工系统 |
| 预算金额： | 155万元 |
| 采购品目： | A02062002 电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 采购设备名称：纤维半导体器件微纳加工系统1套，该设备是对纤维材料和器件表面进行微纳加工。针对纤维器件定制配备了半导体行业专业光刻与薄膜沉积系统，用于纤维器件弯曲表面进行高精度纳米级图案化设计加工，以满足曲面加工需求。现有纤维涂敷、卷绕工艺难以满足对纤维电子器件的轴向方向上的高精度、多功能设计。该设备作为微纳加工、精细化加工的重要设备，是纤维电子器件向高集成化、多功能化纤维器件发展的必要需求。采用与国内知名厂商定制和搭建的纤维半导体器件微纳加工系统，确保图案化精度和稳定性。设备参数：定制曲面激光直写光刻机模块，曲面耦合电机，重复定位精度5 μm，最大转角360°，激光波长365 nm，加工精度0.6 μm。纤维OLED旋转蒸镀仓，定制电机转速8°/s。蒸发舟数量大于8，电源数量大于2。蒸发距离200-400 mm，配置配套手套箱及I-V-L测试系统。常温真空化学气相乘积CVD仓，加工温度区间20-80 ℃，薄膜厚度生长区间10-500 nm。 |
| 预计采购时间： | 2024年11月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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