硅晶圆激光切割设备 | |
公开链接: | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=9cbbeba4-6266-4cb0-8cfa-8edd92a219dd |
采购单位: | 芯片与系统前沿技术研究院(筹) |
采购项目名称: | 硅晶圆激光切割设备 |
预算金额: | 320万元 |
采购品目: | A02100309 激光仪器 |
采购需求概况: | 针对8inch及以下尺寸的硅晶圆进行隐形切割加工,提高工艺平台器件划片精度,实现对传感、存算芯片高精度划片,统一分立器件的尺寸便于相关器件的异质集成工艺实现。 |
预计采购时间: | 2024年12月 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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