| 电子束光刻系统机台 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=73d1305f-6eba-4140-9f2e-d54b1c4ce168 |
| 采购单位： | 芯片与系统前沿技术研究院（筹） |
| 采购项目名称： | 电子束光刻系统机台 |
| 预算金额： | 1000万元 |
| 采购品目： | A02119900 其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况： | 电子束光刻（通常缩写为电子束光刻、EBL）是一种利用扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂（曝光）的电子敏感膜覆盖的表面上绘制自定义形状的设备，该设备在微纳电子器件制作中起着关键作用。功能需求：系统最大样品尺寸应大于等于6英寸，单束电子束最小束斑直径小于等于3nm。 |
| 预计采购时间： | 2024年11月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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