| 原子层沉积设备 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=3661fcd9-f38c-4658-8843-e72d3d982fee |
| 采购单位： | 微电子学院 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 215万元 |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | （1）真空内外双腔结构； （2）反应温度≥450℃； （3）配置可以放置≥6英寸晶圆的载片台，并向下兼容； （4）配置≥4路液态前驱体源系统； （5）配置ICP远程感应耦合等离子体系统，射频电源≥500W； （6）配置≥3路等离子体气路； （7）配置高性能真空系统及沉积自动控制系统； （8）配置自动样品传输腔和机械手，可以实现单片≥6英寸片真空自动取放。 |
| 预计采购时间： | 2024年11月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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