| ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=eabf8613-0d75-487c-b28c-219aa6b9d82d |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机 |
| 预算金额： | 200万元 |
| 采购品目： | A02119900 其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况： | ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机是微纳加工核心设备，主要用于半导体、光电子等领域的精密刻蚀。利用化学反应实现材料的高精度去除，适用于硅、氮化镓、等多种材料以满足纳米级器件的加工需求，本项目依据科研需求计划采购一台ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机。 |
| 预计采购时间： | 2025年06月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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