| 电子束蒸发材料制备系统 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=67059769-6d7c-4bc9-b8bc-d2904adda79a |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发材料制备系统 |
| 预算金额： | 109.5万元 |
| 采购品目： | A02100699 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 需要购买电子束蒸发材料制备系统一套，包含以下设备：电子束蒸发系统一套；进样腔一套；等离子体物理实验仪一套，用于我系近代物理实验教学。 组件参数和要求： * 电子束蒸发系统，本底真空度小于10E-4Pa，配不少于3个靶位和电子束源，最大功率3kW，高压4-10kV可调，最大灯丝电流50A；最大发射束流不小于300mA，磁偏转角度270°，最大蒸发速率不小于1.6nm/s。 * 进样腔，真空度小于10E-4Pa，传样杆行程不小于30cm。 * 等离子体物理实验仪，本底真空优于10E-1Pa，直流电源最大参数DC1500V/1A，工作气压200Pa以内可调，最大放电电流不小于0.5A,腔体尺寸：直径约45mm*长度300mm；配套磁场0-500mT可调。 |
| 预计采购时间： | 2025年10月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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