| 太赫兹时空高分辨成像设备 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=b04e3004-0d6f-49a0-aad3-673e84d8f67c |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 太赫兹时空高分辨成像设备 |
| 预算金额： | 800万元 |
| 采购品目： | A02100304 光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 本采购项目拟购置非接触式半导体芯片检测的太赫兹时空高分辨光谱成像设备，用于先进半导体芯片及封装结构的无损检测、缺陷分析与载流子特性表征。该设备需要能够实现太赫兹波段的高时空分辨光谱成像，适应硅基、化合物半导体及先进封装等多种样品，同时保证检测灵敏度、空间分辨率与测试效率。 |
| 预计采购时间： | 2026年12月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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