为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 分子层沉积2 | YX20231023 | 拟采购3种型号分子层沉积设备共3套，主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜。第一套分子层沉积设备主要用于沉积氧化铝、氧化钛等金属氧化物；第二套分子层用于沉积金属薄膜；第三套主要用于沉积IGZO及氮化物。 | 210 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 2 | 快速热处理系统 | YX20231024 | 拟采购4套相同型号的快速热处理系统，其能够快速升温的加热设备，可广泛应用于：接触退火，注入退火，快速热氧化，快速热氮化，硅平滑，扩散，致密化和结晶化，硒化，硫化等。可避免杂质的再扩散，减小晶片处理过程中的热预算。主要参数包括但不限于：最大基片直径不低于8英寸，腔壁采用抛光不锈钢材料 | 640 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
上一篇： 复旦大学2023年11月政府采购意向公开
下一篇： 复旦大学2023年11月政府采购意向公开