为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 离子注入系统 | YX20231025 | 拟采购一台离子注入系统，该设备系统为定制小型化离子注入系统 ，通过将特定类型的离子注入薄膜材料，实现元素掺杂及材料性质的精确调控。主要应用于薄膜材料表面处理，元素掺杂以及器件集成工艺，核心组成部分包括离子源，样品腔以及分析系统 | 1170 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 2 | 膜厚仪1 | YX20231026 | 拟采购1套膜厚仪，薄膜厚度测试仪器利用X射线分析薄膜表面形貌，厚度及内部结构，其主要应用于精确分析薄膜材料厚度，表面粗糙度以及确定晶体结构和晶格参数等。其核心组成部分包括X射线源，多轴样品台以及分析器等。 | 400 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 3 | 真空流片工艺集成系统 | YX20231027 | 拟采购1套真空多功能流片工艺集成系统，与超高真空系统实现定制化集成。应用于薄膜原位表面预处理，后处理加工以及结构性质表征，集成多种表征处理模块，如低能电子衍射，原子氢源等。系统核心组成部分包括多功能超高真空腔体，可加热多轴样品操作台等。 | 600 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 4 | 二次离子质谱仪 | YX20231028 | 拟采购1套小型化高分辨薄膜表征分析仪，应用于薄膜精细结构测量和组分分析。以超高灵敏度实现对元素的测定，价态和配位结构的分析等，支持原位实时动态分析。设备核心组成包括射线源，多位自动样品轮等 | 430 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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