为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下:
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 365nm曝光机 | YX20231030 | 本项目拟采购一批365nm曝光机,该掩膜曝光机可以精确对准光刻掩膜和硅晶圆或其他半导体基片,确保图案的准确位置和对准。它使用紫外光照射掩膜,将图案投射到硅晶圆或其他基片上。同时,其用于定义电子元件的结构和线路图案,根据需要调整图案的大小,以满足特定设计要求,实现不同尺寸和密度的电子元件。 | 270 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 2 | 电化学电镀ECP | YX20231031 | 该设备是通过电镀技术在微小的空隙内生长金属材料。主要是在硅通孔技术、亚微米高深宽比孔内填充金属。该设备具有镀液过滤系统,能实现过滤所有1um以上颗粒的功能;电镀槽的具有阳极电极区和阴极电极区,阴极电极可编程。 | 330 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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