为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将复旦大学2023年11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 采购品目 | 备注 |
| 1 | 高分辨率基带任意波形发生器1 | YX20231032 | 本项目拟采购的高分辨率基带任意波形发生器在功率器件设计过程中可以提供需要的任意波形，可以全面精确地了解功率器件在各种条件下的性能表现，可提供易于使用的自动化测量方法，满足提取功率器件参数的重要需求。任意波形发生器系统包含高压SMU模块，电压范围不小于±3000V，电流测量分辨率≤10fA，电压测量分辨率≤200uV，且该系统可支持的频率范围为 1μHz到330MHz。 | 200 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 2 | 高分辨路基带任意波形发生器2 | YX20231033 | 本次采购的高分辨率基带任意波形发生器设备可以拥有时延控制输入和可变交叉点功能，有助于快速、轻松地进行信号完整性测量，包括仿真真实的信号。高分辨率基带任意波形发生器设备有着超快的上升时间和低固有抖动，能够对接收机等器件执行精确和深入的表征。主要参数包括但不限于：任意波形发生器模拟带宽高于45GHz、配合任意波形发生器使用的定制窄脉冲放大器的最小输出脉宽低于100ps等。 | 200 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 3 | 高分辨路基带任意波形发生器3 | YX20231034 | 本次拟采购3台高分辨率基带任意波形发生器，将用于生成高速度低抖动的模拟信号、快速脉冲、数据流和时钟，可以使用脉冲序列软件产生各种复杂的脉冲串信号，比如脉宽参差、PRI参差以及频率和幅度参差，对新型半导体材料、芯片、晶圆和器件进行激励继而进行电学性能的参数测量和分析，用于支撑半导体先进封装先进工艺的教学及科研需求。主要参数包括但不限于：最大DAC垂直分辨率≥10位、具有可变采样率、模拟通道上升时间小于22ps等。 | 600 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 4 | 互连刻蚀机 | YX20231035 | 拟采购3台互连刻蚀机，该设备通过高能离子束或者等离子体，利用物理轰击或化学反应对金属、半导体、介质材料表面进行高精度的加工，从而形成所需的微观图案或者结构。 | 450 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 | |
| 5 | 分子层沉积1 | YX20231036 | 本项目拟采购1批分子层沉积设备，包括1套ICP等离子体分子层沉积设备主机、1套双腔反应腔、1套常温液源管路、3套加热源管路等。主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。 | 260 | 2023年11月 | A02330300 电子工业生产设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
复旦大学采购与招标管理中心
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