| 激光直写 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=3610bb5d-6477-419e-b44f-5ccb1fa966ec |
| 采购单位： | 芯片与系统前沿技术研究院（筹） |
| 采购项目名称： | 激光直写 |
| 预算金额： | 460万元 |
| 采购品目： | A02100309 激光仪器 |
| 采购需求概况： | 激光直写是芯片制造流程必不可少的设备之一。由于科学研究自由度高，常规紫外光刻机需要定制光刻板，不能满足科研实验中快速迭代实验方案的需求。激光直写可以兼具光刻和电子束曝光的优点，具有电子束曝光无掩膜直写系统的灵活性和高分辨率，还具有紫外光刻机高速图形化和低成本的特点，可以在一定精度下快速直写曝光。根据目前项目科研实际需求，本项目根据科研需求计划采购两台激光直写。 |
| 预计采购时间： | 2024年10月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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