物理气相沉积设备 | |
公开链接: | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=3610bb5d-6477-419e-b44f-5ccb1fa966ec |
采购单位: | 芯片与系统前沿技术研究院(筹) |
采购项目名称: | 物理气相沉积设备 |
预算金额: | 411万元 |
采购品目: | A02330300 电子工业生产设备 |
采购需求概况: | 物理气相沉积设备是一种用于将材料薄膜沉积到基底上的系统,其工艺包括将固体材料转化为蒸汽,将蒸汽输送到低压区域,然后将其冷凝到基底上。 该工艺在半导体制造、太阳能电池和 LED 显示屏等多个行业中都至关重要。本项目根据科研需求计划采购两台物理气相沉积设备。 |
预计采购时间: | 2024年10月 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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