| 半导体介质垂直溅射系统 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=afda3280-9439-4c16-bb8a-4f916b3cd87a |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 半导体介质垂直溅射系统 |
| 预算金额： | 360万元 |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 需要直射的特定工艺设备，极限真空度:≤3e-8Torr，可实时控制和显示部件和镀等状态，样品尺寸2inch，样品可以通过辐射方式加热，最高加热温度800℃，且能够满足绝大部分镀膜的需要。签订合同后6个月内交付，质保期自验收合格日起3年。 |
| 预计采购时间： | 2025年05月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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