| 低温等离子体介质沉积系统 | |
| 公开链接： | http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=afda3280-9439-4c16-bb8a-4f916b3cd87a |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 低温等离子体介质沉积系统 |
| 预算金额： | 480万元 |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 需要特定的低温沉积设备淀积介质层或保护层，chier温度范围20~90℃，要能满足绝大部分介质生长的需要。签订合同后6个月内交付，质保期自验收合格日起3年。 |
| 预计采购时间： | 2025年05月 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
上一篇： 半导体介质垂直溅射系统
下一篇： 没有了